伊瑪電容傳感器在半導體設備液位檢測
2021/6/29 0:00:00
伊瑪 扁平式CD電容傳感器應用于半導體設備
應用描述
上海松江某半導體設備制造廠原先使用浮子開關,但是卻無法及時反應液位內高低,且維修上如需要停機則還要防止液體從管孔流出。
實際案例中, 也有客戶采用光電開關來做桶槽液位的檢測, 但是隨著一段時間, 桶槽內會堆積灰塵, 累積到一定程度之后, 就會對光電開關偵測的準確性造成影響。
安裝位置
常見的安裝數量一臺半導體設備會安裝2或4個, UP上料位和DOWN下料位, 有的工程師會再多安裝UP/UP上料位和DW/DW下料位的預備, 避免前一個傳感器的異?,F象發生。
解決方案
建議選用伊瑪的一觸式電容式接近傳感器CD0001/CD0002,安裝于半導體清洗生產線,替代客戶先前使用的浮子,因為不直接接觸溶液,可以穿透塑料的桶槽或是非金屬的外接管, 維護起來更加方便穩定!
此款CD型智能型電容式接近傳感器,具備技術領先的”One-Touch”一觸式學習功能,擺脫傳統的方法轉旋鈕調整,設定者只要輕輕一觸則可完成自動學習和遠程設定。感應距離高達到15mm,透過扁平式的結構節省空間且可輕易的安裝,并增強抗電磁干擾。透過全密封設計,可長時間工作于惡劣環境,性能穩定。具有穿透管壁的功能,無需將管道穿孔,即可輕松的安裝在管上,安裝相當容易。優點如下:可靠性高、具抗干擾能力,可滿足感應速度要求,由于無需穿孔且可輕易的綁在管道上,使用和維護都相當方便,非常適合半導體的使用環境,成本相對來說比較低。
審核編輯(
王靜
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