伊瑪 扁平式CD電容傳感器應用于半導體設備

應用描述

　　上海松江某半導體設備制造廠原先使用浮子開關，但是卻無法及時反應液位內高低，且維修上如需要停機則還要防止液體從管孔流出。

實際案例中, 也有客戶采用光電開關來做桶槽液位的檢測, 但是隨著一段時間, 桶槽內會堆積灰塵, 累積到一定程度之后, 就會對光電開關偵測的準確性造成影響。

安裝位置

常見的安裝數量一臺半導體設備會安裝2或4個, UP上料位和DOWN下料位, 有的工程師會再多安裝UP/UP上料位和DW/DW下料位的預備, 避免前一個傳感器的異常現象發生。

解決方案

　　建議選用伊瑪的一觸式電容式接近傳感器CD0001/CD0002，安裝于半導體清洗生產線，替代客戶先前使用的浮子，因為不直接接觸溶液，可以穿透塑料的桶槽或是非金屬的外接管, 維護起來更加方便穩定！

　　此款CD型智能型電容式接近傳感器，具備技術領先的”One-Touch”一觸式學習功能，擺脫傳統的方法轉旋鈕調整，設定者只要輕輕一觸則可完成自動學習和遠程設定。感應距離高達到15mm，透過扁平式的結構節省空間且可輕易的安裝，并增強抗電磁干擾。透過全密封設計，可長時間工作于惡劣環境，性能穩定。具有穿透管壁的功能，無需將管道穿孔，即可輕松的安裝在管上，安裝相當容易。優點如下：可靠性高、具抗干擾能力，可滿足感應速度要求，由于無需穿孔且可輕易的綁在管道上，使用和維護都相當方便，非常適合半導體的使用環境，成本相對來說比較低。